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浙江大學(xué)光刻浸液系統(tǒng)模型

2022年05月20日

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浙江大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院?jiǎn)枅F(tuán)隊(duì),堅(jiān)持十五年基礎(chǔ)研究和技術(shù)攻關(guān),突破光刻機(jī)浸液系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造關(guān)鍵技術(shù),為高端光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化研制奠定了基礎(chǔ)。7sA中國(guó)模型網(wǎng)

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光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,作為光、機(jī)、電一體化的超大型復(fù)雜系統(tǒng),面臨著很多“卡脖子”技術(shù)難題。7sA中國(guó)模型網(wǎng)

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