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全自動晶圓盒FOUP清洗機模型

2023年07月19日

全自動晶圓盒FOUP清洗機模型kZo中國模型網

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專項研發雙流體旋轉噴射清洗方式，實現超微精密清洗，最佳節能設計;高效干燥技術，AMC 化合物去除技術全生產過程實時監控，兼容自動傳輸系統(AMHS);SEMI通訊標準兼容GEM300，符合SEMI S2、S8標準高產量，最優占地面積設計kZo中國模型網

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